Granitaj komponantoj estis vaste uzataj en la procezo de fabrikado de semikonduktaĵoj pro siaj bonegaj karakterizaĵoj kiel supera surfaca finaĵo, alta rigideco kaj bonega vibrado.Granitaj komponantoj estas esencaj por semikonduktaĵa fabrikada ekipaĵo, inkluzive de litografiomaŝinoj, polurmaŝinoj kaj metrologiaj sistemoj, ĉar ili disponigas precizecan pozicion kaj stabilecon dum la produktada procezo.Malgraŭ ĉiuj avantaĝoj uzi granitajn komponantojn, ili ankaŭ havas difektojn.En ĉi tiu artikolo, ni diskutos la difektojn de granitaj komponantoj por semikonduktaĵaj produktadprocezaj produktoj.
Unue, granitaj komponantoj havas altan termikan ekspansiokoeficienton.Ĝi signifas, ke ili signife disetendiĝas sub termika streso, kio povus kaŭzi problemojn dum la fabrikado.La produktadprocezo de duonkonduktaĵo postulas altan precizecon kaj dimensian precizecon kiu povus esti endanĝerigita pro termika streso.Ekzemple, silicioblatdeformado pro termika vastiĝo povis kaŭzi paraleligproblemojn dum litografio, kiu povis endanĝerigi la kvaliton de la duonkondukta aparato.
Due, granitaj komponantoj havas porecajn difektojn, kiuj povus kaŭzi malplenajn likojn en la produktadprocezo de semikonduktaĵo.La ĉeesto de aero aŭ ajna alia gaso en la sistemo povus kaŭzi poluadon sur la surfaco de la oblato, rezultigante difektojn kiuj povus influi la efikecon de la duonkondukta aparato.Inertaj gasoj kiel argono kaj heliumo povus enpenetri en porajn granitkomponentojn kaj krei gasvezikojn kiuj povus malhelpi la integrecon de la vakua procezo.
Trie, granitaj komponantoj havas mikrofrakturojn, kiuj povus malhelpi la precizecon de la fabrikado.Granito estas fragila materialo, kiu povus disvolvi mikrofrakturojn laŭlonge de la tempo, precipe kiam ĝi estas eksponita al konstantaj streĉaj cikloj.La ĉeesto de mikrofrakturoj povis konduki al dimensia malstabileco, kaŭzante signifajn problemojn dum la produktadprocezo, kiel ekzemple litografioparaleligo aŭ oblatopoluro.
Kvare, granitaj komponantoj havas limigitan flekseblecon.La semikonduktaĵproduktadprocezo postulas flekseblan ekipaĵon kiu povus alĝustigi malsamajn procezŝanĝojn.Tamen, granitkomponentoj estas rigidaj kaj ne povas adaptiĝi al malsamaj procezŝanĝoj.Tial, ajnaj ŝanĝoj en la produktadprocezo necesigas la forigon aŭ anstataŭigon de la granitkomponentoj, kondukante al malfunkcio kaj influante produktivecon.
Kvine, granitaj komponantoj postulas specialan uzadon kaj transportadon pro sia pezo kaj malfortikeco.Granito estas densa kaj peza materialo, kiu postulas specialan manipulan ekipaĵon kiel gruoj kaj leviloj.Aldone, granitaj komponantoj postulas zorgan pakadon kaj transportadon por malhelpi damaĝon dum sendo, kondukante al pliaj kostoj kaj tempo.
En konkludo, granitaj komponantoj havas iujn malavantaĝojn, kiuj povus influi la kvaliton kaj produktivecon de la produktoj de semikonduktaĵo-produktado.Ĉi tiuj difektoj povus esti minimumigitaj per zorgema uzado kaj prizorgado de granitaj komponentoj, inkluzive de perioda inspektado por mikrofrakturoj kaj porecdifektoj, taŭga purigado por malhelpi poluadon, kaj zorgema manipulado dum transportado.Malgraŭ la difektoj, granitaj komponantoj restas esenca parto de la semikonduktaĵa produktadprocezo pro sia supera surfaca finpoluro, alta rigideco kaj bonega vibrado-malseketigado.
Afiŝtempo: Dec-05-2023