Granitaj komponentoj estis vaste uzataj en la semikonduktaĵa fabrikada procezo pro iliaj bonegaj trajtoj kiel supera surfaca finaĵo, alta rigideco kaj bonega vibra malsekigo. Granitaj komponentoj estas esencaj por semikonduktaĵaj fabrikaj ekipaĵoj, inkluzive de litografiaj maŝinoj, poluraj maŝinoj kaj metrologiaj sistemoj ĉar ili provizas precizan pozicion kaj stabilecon dum la fabrikada procezo. Malgraŭ ĉiuj avantaĝoj de uzado de granitaj komponentoj, ili ankaŭ havas difektojn. En ĉi tiu artikolo, ni diskutos la difektojn de granitaj komponentoj por produktoj de duonkondukta fabrikado.
Unue, granitaj komponentoj havas altan termikan ekspansian koeficienton. Ĝi signifas, ke ili vastiĝas signife sub termika streso, kio povus kaŭzi problemojn dum la fabrikada procezo. La semikonduktaĵa fabrikada procezo postulas altan precizecon kaj dimensian precizecon, kiu povus esti kompromitita pro termika streĉado. Ekzemple, silicia wafer -deformado pro termika ekspansio povus kaŭzi alineajn problemojn dum litografio, kiu povus kompromiti la kvaliton de la duonkondukta aparato.
Due, granitaj komponentoj havas porosajn difektojn, kiuj povus kaŭzi vakuajn fugojn en la fabrikada procezo de duonkonduktaĵoj. La ĉeesto de aero aŭ iu ajn alia gaso en la sistemo povus kaŭzi poluadon sur la surfaco de la ondo, rezultigante difektojn, kiuj povus influi la agadon de la duonkondukta aparato. Inertaj gasoj kiel argono kaj heliumo povus filtriĝi en poraj granitaj komponentoj kaj krei benzinajn vezikojn, kiuj povus intermiksi la integrecon de la vakua procezo.
Trie, granitaj komponentoj havas mikrofrakturojn, kiuj povus intermiksi la precizecon de la fabrikada procezo. Granito estas fragila materialo, kiu povus disvolvi mikrofrakturojn kun la tempo, precipe kiam eksponite al konstantaj streĉaj cikloj. La ĉeesto de mikrofrakturoj povus konduki al dimensia nestabileco, kaŭzante gravajn problemojn dum la fabrikada procezo, kiel ekzemple litografia vicigo aŭ polura poluro.
Kvara, granitaj komponentoj havas limigitan flekseblecon. La semikonduktaĵa fabrikada procezo postulas flekseblajn ekipaĵojn, kiuj povus akcepti malsamajn procezajn ŝanĝojn. Tamen, granitaj komponentoj estas rigidaj kaj ne povas adaptiĝi al malsamaj procezaj ŝanĝoj. Sekve, ajnaj ŝanĝoj en la fabrikada procezo bezonas la forigon aŭ anstataŭigon de la granitaj komponentoj, kaŭzante malfunkcion kaj tuŝadon de produktiveco.
Kvina, granitaj komponentoj postulas specialan uzadon kaj transportadon pro sia pezo kaj fragileco. Granito estas densa kaj peza materialo, kiu postulas specialajn pritraktajn ekipaĵojn kiel gruoj kaj vivantoj. Aldone, granitaj komponentoj postulas zorgeman pakadon kaj transportadon por eviti damaĝon dum sendo, kaŭzante pliajn kostojn kaj tempon.
Konklude, granitaj komponentoj havas iujn malavantaĝojn, kiuj povus influi semikonduktaĵajn fabrikadajn procezajn produktojn kaj produktivecon. Ĉi tiuj difektoj povus esti minimumigitaj per zorgema uzado kaj bontenado de granitaj komponentoj, inkluzive de perioda inspektado por mikrofracturoj kaj porosaj difektoj, taŭga purigado por malebligi poluadon kaj zorgeman uzadon dum transportado. Malgraŭ la difektoj, granitaj komponentoj restas esenca parto de la semikonduktaĵa fabrikada procezo pro sia supera surfaca finpoluro, alta rigideco kaj bonega vibra malsekigo.
Afiŝotempo: Dec-05-2023