Granitaj aerlagrosistemoj estas vaste uzataj enultra-precizecomoviĝplatformoj por semikonduktaĵfabrikado, optika vicigo kaj nanometra metrologio.
Ĉi tiuj sistemoj forigas mekanikan kontakton per uzado de maldika premizita aerfilmo, atingante preskaŭ nulan frikcian moviĝon.
Aera Birado-Principo
Aerlagroj funkcias per enkonduko de premaero inter du surfacoj, formante 2-20 μm aerfilmon.
Tio forigas:
- Mekanika frikcio
- Eluziĝo
- Baston-glita konduto
La sistemo dependas de fluidfilma dinamiko kaj stabila lamena fluo.
La rolo de granito
Granito provizas:
- Struktura stabileco
- Termika drivsubpremado
- Vibrada malseketigado
Ĝi servas kiel la mekanika referencbazo por la movadsistemo.
Sistemkomponantoj
- Granita bazo
- Aerlagro-kusenetoj
- Aerproviza sistemo
- Precizaj kodigiloj
- Moviĝa kontrolsistemo
Efikecaj Karakterizaĵoj
Tipa agado inkluzivas:
- Submikrona poziciiga precizeco
- Alta rekteco dum longa vojaĝo
- Nula mekanika kontraŭreago
Ŝlosilaj erarfontoj inkluzivas aerpremmalstabilecon, termikan drivon, kaj kodigilan eraron.
Aplikoj
- Inspektado de duonkonduktaĵaj oblatetoj
- Litografiaj sistemoj
- Optikaj vicigplatformoj
- Altnivelaj metrologiaj maŝinoj
Oftaj Demandoj
Ĉu aerlagroj eluziĝas?
Neniu mekanika kontakto forigas eluziĝon.
Kial uzi graniton?
Por stabileco kaj vibro-dampigo.
Kio limigas precizecon?
Aerstabileco kaj termikaj efikoj.
Ĉu ili povas porti pezajn ŝarĝojn?
Jes, depende de la dezajno.
Afiŝtempo: 3-a de Julio, 2026