En la ŝlosila ligo de ico-fabrikado - skanado de silo-plafonoj, la precizeco de la ekipaĵo determinas la kvaliton de la ico. Kiel grava komponanto de la ekipaĵo, la problemo de termika ekspansio de la granita maŝinbazo altiris multan atenton.
La koeficiento de termika ekspansio de granito estas kutime inter 4 kaj 8×10⁻⁶/℃, kio estas multe pli malalta ol tiu de metaloj kaj marmoro. Tio signifas, ke kiam la temperaturo ŝanĝiĝas, ĝia grandeco ŝanĝiĝas relative malmulte. Tamen, oni notu, ke malalta termika ekspansio ne signifas, ke ne estas termika ekspansio. Sub ekstremaj temperaturfluktuoj, eĉ la plej eta ekspansio povas influi la nanoskalan precizecon de skanado de platoj.
Dum la skanada procezo de la silabplato, ekzistas pluraj kialoj por la okazo de termika ekspansio. La temperaturfluktuoj en la metiejo, la varmo generita de la funkciado de ekipaĵkomponantoj, kaj la tuja alta temperaturo kaŭzita de lasera prilaborado ĉiuj kaŭzos, ke la granita bazo "ekspansiiĝas kaj kuntiriĝas pro temperaturŝanĝoj". Post kiam la bazo spertas termikan ekspansion, la rekteco de la gvidrelo kaj la plateco de la platformo povas devii, rezultante en malpreciza mova trajektorio de la silabplato. La subtenaj optikaj komponantoj ankaŭ ŝoviĝos, kaŭzante "devion" de la skanada fasko. Kontinua laborado dum longa tempo ankaŭ akumulos erarojn, malbonigante la precizecon.
Sed ne zorgu. Homoj jam havas solvojn. Rilate al materialoj, granitvejnoj kun pli malalta koeficiento de termika ekspansio estos elektitaj kaj submetitaj al aĝiĝa traktado. Rilate al temperaturkontrolo, la laboreja temperaturo estas precize kontrolata je 23±0.5℃ aŭ eĉ pli malalta, kaj aktiva varmodisradia aparato ankaŭ estos desegnita por la bazo. Rilate al struktura dezajno, simetriaj strukturoj kaj flekseblaj subtenoj estas adoptitaj, kaj realtempa monitorado estas efektivigita per temperatursensiloj. La eraroj kaŭzitaj de termika deformado estas dinamike korektitaj per algoritmoj.
Altnivela ekipaĵo kiel ASML-litografiaj maŝinoj, per ĉi tiuj metodoj, tenas la termikan ekspansio-efikon de la granita bazo ene de ekstreme malgranda intervalo, ebligante la precizecon de la skanado de la vafloj atingi nanometran nivelon. Tial, kondiĉe ke ĝi estas konvene kontrolita, la granita bazo restas fidinda elekto por skanada ekipaĵo.
Afiŝtempo: 12-a de junio 2025