Granito estis ofte uzata materialo en la duonkondukta industrio pro siaj bonegaj mekanikaj proprietoj, termika stabileco kaj malalta koeficiento de termika ekspansio. Tamen, kun la ĉiam pli kreskanta postulo pri pli alta precizeco kaj produktiveco, alternativaj materialoj aperis kiel realigeblaj ebloj por fabrikado de semikonduktaĵaj ekipaĵoj. En ĉi tiu artikolo, ni esploros iujn el la alternativaj materialoj por granitaj partoj en semikonduktaĵaj ekipaĵoj kaj komparos iliajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn.
Alternativaj materialoj por granitaj partoj
1. Vitraj-ceramikaj materialoj
Vitraj ceramikaj materialoj, kiel Zerodur kaj Cervit, akiris ĝeneraligitan uzon en la duonkondukta industrio pro ilia malalta termika ekspansia koeficiento, kiu estas proksima al tiu de silicio. Sekve, ĉi tiuj materialoj povas provizi pli bonan termikan stabilecon kaj plibonigitan precizecon en la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj. Zerodur precipe havas altan homogenecon kaj stabilecon, igante ĝin taŭga por fabrikado de litografiaj ekipaĵoj.
Avantaĝoj:
- Malalta koeficiento de termika ekspansio
- Alta precizeco kaj stabileco
- Taŭga por alt-temperaturaj aplikoj
Malavantaĝoj:
- pli alta kosto kompare kun granito
- relative fragila, povas prezenti defiojn pri maŝinado kaj uzado
2. Ceramiko
Ceramikaj materialoj, kiel aluminia rusto (AL2O3), silicia karburo (SIC), kaj silicia nitrido (Si3N4), havas bonegajn mekanikajn proprietojn, alt-temperaturan reziston kaj malaltan termikan ekspansian koeficienton. Ĉi tiuj propraĵoj igas ceramikojn idealaj por duonkonduktaĵaj ekipaĵaj partoj, kiuj postulas altan termikan stabilecon kaj precizecon, kiel ekzemple wafer -stadioj kaj kukaĵoj.
Avantaĝoj:
- Alta termika stabileco kaj forto
- Malalta termika ekspansia koeficiento
- Alta eluziĝo kaj kemia inerteco
Malavantaĝoj:
- Povas esti fragila kaj inklina al krakado, precipe dum maŝinado kaj uzado
- Maŝinado kaj polurado de ceramiko povas esti malfacila kaj multe da tempo
3. Metaloj
Metal-bazitaj materialoj, kiel neoksidebla ŝtalo kaj titanio, estis uzataj por iuj partoj de semikonduktaĵaj ekipaĵoj pro sia bonega maŝinebleco kaj alta forto. Ili estas ofte uzataj en aplikoj, kie ne necesas alta termika stabileco, kiel ĉambraj partoj, kupoloj kaj nutraĵoj.
Avantaĝoj:
- Bona maŝineco kaj veldebleco
- Alta forto kaj ductileco
- Malalta kosto kompare kun iuj el la alternativaj materialoj
Malavantaĝoj:
- Alta termika ekspansia koeficiento
- Ne taŭga por alt-temperaturaj aplikoj pro problemoj pri termika ekspansio
- susceptible al korodo kaj poluado
Konkludo:
En resumo, dum granito estis populara elekto por partoj de duonkonduktaĵaj ekipaĵoj, aperis alternativaj materialoj, ĉiu kun unikaj avantaĝoj kaj malavantaĝoj. Vitraj ceramikaj materialoj estas tre precizaj kaj stabilaj, sed povas esti fragilaj. Ceramikaĵoj estas fortaj kaj havas bonegan termikan stabilecon, sed ankaŭ povas esti frapaj, igante ilin pli malfacilaj fabriki. Metaloj estas malmultekostaj, maŝineblaj kaj duktilaj, sed ili havas pli altan koeficienton de termika ekspansio kaj estas susceptibles al korodo kaj poluado. Kiam oni elektas materialojn por duonkondukta ekipaĵo, estas grave konsideri la specifajn postulojn de la aplikaĵo kaj elekti materialojn, kiuj ekvilibrigas koston, agadon kaj fidindecon.
Afiŝotempo: mar-19-2024