Granito estis ofte uzata materialo en la semikonduktaĵa industrio pro siaj bonegaj mekanikaj trajtoj, termika stabileco kaj malalta koeficiento de termika ekspansio.Tamen, kun la ĉiam kreskanta postulo je pli alta precizeco kaj produktiveco, alternativaj materialoj aperis kiel realigeblaj opcioj por la fabrikado de semikonduktaĵaj ekipaĵkomponentoj.En ĉi tiu artikolo, ni esploros iujn el la alternativaj materialoj por granitaj partoj en duonkondukta ekipaĵo kaj komparos iliajn avantaĝojn kaj malavantaĝojn.
Alternativaj Materialoj por Granitaj Partoj
1. Vitro-ceramikaj materialoj
Vitro-ceramikaj materialoj, kiel ekzemple Zerodur kaj Cervit, akiris ĝeneraligitan uzon en la semikonduktaĵindustrio pro sia malalta termika vastiĝkoeficiento, kiu estas proksima al tiu de silicio.Sekve, ĉi tiuj materialoj povas disponigi pli bonan termikan stabilecon kaj plifortigitan precizecon en la semikonduktaĵa fabrikadprocezo.Zerodur, precipe, havas altan gradon da homogeneco kaj stabileco, igante ĝin taŭga por la fabrikado de litografio ekipaĵo.
Avantaĝoj:
- Malalta koeficiento de termika ekspansio
- Alta precizeco kaj stabileco
- Taŭga por alt-temperaturaj aplikoj
Malavantaĝoj:
- Pli alta kosto kompare kun granito
- Relative fragila, povas prezenti defiojn en maŝinado kaj uzado
2. Ceramiko
Ceramikaj materialoj, kiel aluminia rusto (Al2O3), silicia karbido (SiC), kaj silicia nitruro (Si3N4), havas bonegajn mekanikajn proprietojn, alt-temperaturan reziston kaj malaltan termikan ekspansion-koeficienton.Ĉi tiuj propraĵoj igas ceramikaĵon ideala por semikonduktaĵaj ekipaĵoj, kiuj postulas altan termikan stabilecon kaj precizecon, kiel ekzemple oblataj etapoj kaj chucks.
Avantaĝoj:
- Alta termika stabileco kaj forto
- Malalta termika ekspansio koeficiento
- Alta eluziĝorezisto kaj kemia inerteco
Malavantaĝoj:
- Povas esti fragila kaj inklina al krakado, precipe dum maŝinado kaj manipulado
- Maŝinado kaj polurado de ceramikaĵo povas esti malfacila kaj tempopostula
3. Metaloj
Metal-bazitaj materialoj, kiel ekzemple rustorezista ŝtalo kaj titanio, estis uzitaj por kelkaj semikonduktaĵaj ekipaĵpartoj pro sia bonega maŝinebleco kaj alta forto.Ili estas ofte uzitaj en aplikoj kie alta termika stabileco ne estas postulata, kiel ekzemple kamerpartoj, kupladoj, kaj trafluaĵoj.
Avantaĝoj:
- Bona maŝinebleco kaj veldebleco
- Alta forto kaj ductileco
- Malalta kosto kompare kun iuj el la alternativaj materialoj
Malavantaĝoj:
- Alta termika ekspansio koeficiento
- Ne taŭgas por alt-temperaturaj aplikoj pro problemoj pri termika ekspansio
- Senceptebla al korodo kaj poluado
Konkludo:
En resumo, dum granito estis populara elekto por semikonduktaĵaj ekipaĵoj, alternativaj materialoj aperis, ĉiu kun unikaj avantaĝoj kaj malavantaĝoj.Vitro-ceramikaj materialoj estas tre precizaj kaj stabilaj sed povas esti fragilaj.Ceramikaĵoj estas fortaj kaj havas bonegan termikan stabilecon sed ankaŭ povas esti fragilaj, igante ilin pli malfacilaj fabriki.Metaloj estas nekostaj, maŝinprilaboreblaj kaj muldeblaj, sed ili havas pli altan koeficienton de termika ekspansio kaj estas sentemaj al korodo kaj poluado.Kiam oni elektas materialojn por duonkonduktaĵo-ekipaĵo, estas grave konsideri la specifajn postulojn de la aplikaĵo kaj elekti materialojn, kiuj ekvilibrigas koston, efikecon kaj fidindecon.
Afiŝtempo: Mar-19-2024