En la kampo de duonkonduktaĵa fabrikado, la precizeco de valf-inspekta ekipaĵo rekte determinas la kvaliton kaj rendimenton de blatoj. Kiel fundamento subtenanta la kernajn detektajn komponantojn, la dimensia stabileco de la ekipaĵa bazmaterialo ludas gravan rolon en la longdaŭra funkciado de la ekipaĵo. Granito kaj gisfero estas du ofte uzataj bazmaterialoj por valf-inspekta ekipaĵo. 10-jara kompara studo rivelis la signifajn diferencojn inter ili rilate al dimensia stabileco, provizante gravajn referencojn por ekipaĵa elekto.
Eksperimenta Fono kaj Dezajno
La produktada procezo de duonkonduktaĵaj obleoj havas ekstreme altajn postulojn pri detektoprecizeco. Eĉ mikrometra dimensia devio povas konduki al malpliiĝo de la ico-rendimento aŭ eĉ al forigo. Por esplori la dimensian stabilecon de granito kaj gisfero dum longdaŭra uzo, la esplorteamo desegnis eksperimentojn, kiuj simulis realajn labormediojn. Granitaj kaj gisferaj specimenoj de la sama specifo estis elektitaj kaj metitaj en median ĉambron, kie la temperaturo variis de 15℃ ĝis 35℃ kaj la humideco variis de 30% ĝis 70% RH. La mekanika vibrado dum la funkciado de la ekipaĵo estis simulita per vibra tablo. La ŝlosilaj dimensioj de la specimenoj estis mezuritaj ĉiun kvaronjaron uzante alt-precizan laseran interferometron, kaj la datumoj estis kontinue registritaj dum 10 jaroj.
Eksperimenta rezulto: La absoluta avantaĝo de granito
Dek jaroj da eksperimentaj datumoj montras, ke la granita substrato montras mirigan stabilecon. Ĝia koeficiento de termika ekspansio estas ekstreme malalta, averaĝe nur 4,6×10⁻⁶/℃. Sub drastaj temperaturŝanĝoj, la dimensia devio ĉiam estas kontrolita ene de ±0,001 mm. Spite al humidecŝanĝoj, la densa strukturo de granito preskaŭ netuŝiĝas, kaj neniuj mezureblaj dimensiaj ŝanĝoj okazas. En mekanika vibra medio, la bonegaj dampigaj karakterizaĵoj de granito efike sorbas vibran energion, kaj la dimensia fluktuo estas ekstreme malgranda.
Kontraste, por la gisfera substrato, ĝia averaĝa koeficiento de termika ekspansio atingas 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃, kaj la maksimuma dimensia devio kaŭzita de temperaturŝanĝoj ene de 10 jaroj estas ±0.05mm. En humida medio, gisfero estas ema al rusto kaj korodo. Kelkaj specimenoj montras lokan deformiĝon, kaj la dimensia devio plue pliiĝas. Sub la ago de mekanika vibrado, gisfero havas malbonan vibradan dampeligan rendimenton kaj ĝia grandeco ofte fluktuas, malfaciligante plenumi la altprecizajn postulojn de silo-inspektado.
La esenca kialo de la diferenco en stabileco
Granito formiĝis dum centoj da milionoj da jaroj per geologiaj procezoj. Ĝia interna strukturo estas densa kaj uniforma, kaj la mineralaj kristaloj estas stabile aranĝitaj, forigante internan streson nature. Tio igas ĝin ekstreme imuna al ŝanĝoj en eksteraj faktoroj kiel temperaturo, humideco kaj vibrado. Gisfero estas farita per fandada procezo kaj havas mikroskopajn difektojn kiel porojn kaj sablotruojn interne. Dume, la resta streso generita dum la fandada procezo emas kaŭzi dimensiajn ŝanĝojn sub la stimulo de la ekstera medio. La metalaj ecoj de gisfero igas ĝin ema al rusto pro humideco, akcelante strukturan difekton kaj reduktante dimensian stabilecon.
La efiko sur ekipaĵo por inspektado de oblatoj
Ekipaĵo por inspektado de vaferoj bazita sur granita substrato, kun sia stabila dimensia funkciado, povas certigi, ke la inspekta sistemo konservas altan precizecon dum longa tempo, redukti misjuĝojn kaj maltrafitan detekton kaŭzitan de ekipaĵa precizec-daŭrigo, kaj signife plibonigi la produktorendimenton. Dume, la malaltaj prizorgaj postuloj reduktas la plenan vivciklan koston de la ekipaĵo. Ekipaĵo uzanta gisferajn substratojn, pro malbona dimensia stabileco, postulas oftan kalibradon kaj prizorgadon. Ĉi tio ne nur pliigas funkciajn kostojn, sed ankaŭ povas influi la kvaliton de duonkonduktaĵa produktado pro nesufiĉa precizeco, kaŭzante eblajn ekonomiajn perdojn.
Sub la tendenco de la duonkonduktaĵa industrio strebi al pli alta precizeco kaj pli bona kvalito, elekti graniton kiel la bazmaterialon por vaflaj inspektaj ekipaĵoj estas sendube saĝa movo por certigi ekipaĵan rendimenton kaj plibonigi la konkurencivon de entreprenoj.
Afiŝtempo: 14-majo-2025