En la kampo de duonkonduktaĵa fabrikado, aŭtomata optika inspekta (AOI) ekipaĵo ludas gravan rolon en certigado de la kvalito de ĉipoj. Eĉ eta plibonigo en ĝia detektoprecizeco povus kaŭzi grandegan transformon al la tuta industrio. La ekipaĵbazo, kiel ŝlosila komponanto, havas profundan efikon sur la detektoprecizecon. En la lastaj jaroj, revolucio en bazaj materialoj trairis la industrion. Granito, kun sia elstara vibrado-subprema efikeco, iom post iom anstataŭigis tradiciajn gisferajn materialojn kaj fariĝis la nova favorato de AOI-inspekta ekipaĵo. Ĝia vibrado-subprema efikeco pliiĝis je 92% kompare kun gisfero. Kiuj teknologiaj sukcesoj kaj industriaj ŝanĝoj kuŝas malantaŭ ĉi tiuj datumoj?
La striktaj postuloj por vibrado en duonkonduktaĵaj AOI-inspektaj ekipaĵoj
La fabrikada procezo de duonkonduktaĵaj blatoj eniris la nanoskalan epokon. Dum la AOI-inspektado, eĉ ekstreme etaj vibroj povas kaŭzi deviojn en la inspektaj rezultoj. La fajnaj gratvundoj, malplenaĵoj kaj aliaj difektoj sur la surfaco de la blato ofte estas je mikrometra aŭ eĉ nanometra nivelo. La optikaj lensoj de la detektila ekipaĵo devas kapti ĉi tiujn detalojn kun ekstreme alta precizeco. Ĉiu vibro transdonita de la bazo kaŭzos ŝoviĝon aŭ skuiĝon de la lenso, rezultante en malklara bildakiro kaj tiel influante la precizecon de difektorekono.
Gisferaj materialoj iam estis vaste uzataj en la bazoj de AOI-inspektaj ekipaĵoj ĉar ili havas certan forton kaj prilaboran kapablon, kaj la kosto estas relative malalta. Tamen, rilate al vibrado-subpremado, gisfero havas evidentajn mankojn. La interna strukturo de gisfero enhavas grandan nombron da grafitaj tavoloj, kiuj estas ekvivalentaj al etaj malplenoj interne kaj interrompas la kontinuecon de la materialo. Kiam la ekipaĵo funkcias kaj generas vibradon, aŭ estas ĝenata de ekstera media vibrado, la vibra energio ne povas esti efike malfortigita en la gisfero, sed estas konstante reflektita kaj supermetita inter la grafita tavolo kaj la matrico, rezultante en la kontinua disvastiĝo de vibrado. Rilataj eksperimentoj montras, ke post kiam la gisfera bazo estas ekscitita de ekstera vibrado, la vibrada malfortiga tempo povas daŭri plurajn sekundojn, kio havos gravan efikon sur la detekta precizeco dum ĉi tiu periodo. Krome, la elasta modulo de gisfero estas relative malalta. Sub la longdaŭra ago de ekipaĵa gravito kaj vibrada streĉo, ĝi estas ema al deformado, plue intensigante la vibradan transdonon.
La sekreto malantaŭ 92%-a pliigo de la efikeco de vibrado-subpremado de granitaj bazoj
Granito, kiel speco de natura ŝtono, formis ekstreme densan kaj unuforman internan strukturon per geologiaj procezoj dum centoj da milionoj da jaroj. Ĝi konsistas ĉefe el mineralaj kristaloj kiel kvarco kaj feldspato, kiuj estas proksime kombinitaj, kaj la kemiaj ligoj inter la kristaloj estas fortaj kaj stabilaj. Ĉi tiu strukturo dotas graniton per elstara kapablo subpremi vibradon. Kiam la vibrado estas transdonita al la granita bazo, la mineralaj kristaloj interne povas rapide konverti la vibradan energion en varmenergion kaj disipi ĝin. Studoj montras, ke la dampigo de granito estas plurfoje pli alta ol tiu de gisfero, kio signifas, ke ĝi povas absorbi vibradan energion pli efike, reduktante la amplitudon kaj daŭron de vibrado. Post profesia testado, sub la samaj vibradaj ekscitaj kondiĉoj, la vibrada malfortiga tempo de la granita bazo estas nur 8% de tiu de la gisfero, kaj la vibrada subprema efikeco pliiĝis je 92%.
La alta malmoleco kaj alta elasta modulo de granito ankaŭ kontribuas signife. La alta malmoleco certigas, ke la bazo malpli verŝajne deformiĝos dum portado de la pezo de la ekipaĵo kaj eksteraj fortoj, kaj ĉiam konservas stabilan subtenan staton. La alta elasta modulo certigas, ke la bazo povas rapide reveni al sia originala formo kiam submetita al vibrado, reduktante la akumuliĝon de vibrado. Krome, granito havas bonegan termikan stabilecon kaj preskaŭ ne estas influita de ŝanĝoj en media temperaturo, evitante termikan ekspansion kaj kuntiriĝon deformadon kaŭzitan de temperaturfluktuoj, tiel plue certigante la stabilecon de vibradsubprema agado.
Industria Transformo kaj Perspektivoj Kaŭzitaj de Granitaj Bazoj
La AOI-inspekta ekipaĵo kun granita bazo signife plibonigis sian detektan precizecon. Ĝi povas fidinde identigi difektojn en pli malgrandaj ĉipoj, reduktante la misjuĝan oftecon al ene de 1% kaj multe plibonigante la rendimenton de ĉipoproduktado. Dume, la stabileco de la ekipaĵo estis plibonigita, reduktante la nombron da haltigoj por bontenado kaŭzitaj de vibraj problemoj, plilongigante la servodaŭron de la ekipaĵo, kaj malaltigante la totalajn funkciigajn kostojn.
Afiŝtempo: 14-majo-2025