En la preciza ĉeno de duonkonduktaĵa fabrikado, la sistemo por translokigi pecetojn estas kiel la "vivŝnuro de la ĉipa produktadlinio", kaj ĝia stabileco kaj precizeco rekte determinas la rendimenton de la ĉipoj. La nova generacio de sistemoj por translokigi pecetojn revolucie kombinas linearajn motorojn kun granitaj bazoj, kaj la unikaj avantaĝoj de granitaj materialoj estas ĝuste la kerna kodo por malŝlosi alt-efikecan transmision.
Granita bazo: Konstruante "roksolidan fundamenton" por stabila dissendo
Granito, spertinta centojn da milionoj da jaroj da geologia rafinado, havas densan kaj unuforman internan mineralan kristaliĝon. Ĉi tiu natura karakterizaĵo igas ĝin ideala bazmaterialo por sistemoj por translokigo de vafloj. En la kompleksa medio de duonkonduktaĵaj puraj ĉambroj, granito, kun sia ekstreme malalta koeficiento de termika ekspansio (nur 5-7 ×10⁻⁶/℃), povas rezisti la varmon generitan dum ekipaĵa funkciado kaj la influon de mediaj temperaturŝanĝoj, certigante la stabilecon de la bazgrandeco kaj evitante la devion de la transmisia vojo kaŭzitan de termika deformado. Ĝia elstara vibrada dampiga kapablo povas rapide absorbi la mekanikajn vibrojn generitajn dum la ekfunkciigo, malŝalto kaj akcelo de linearaj motoroj, same kiel la eksterajn interferojn kaŭzitajn de la funkciado de aliaj ekipaĵoj en la metiejo, provizante stabilan platformon kun "nula skuado" por vafla transmisio.
Dume, la kemia stabileco de granito certigas, ke ĝi ne korodas aŭ rustas en duonkonduktaĵaj metiejoj, kie acidaj kaj alkalaj reakciaĵoj estas volatilaj kaj alta pureco estas necesa, tiel evitante la efikon sur la transmisia precizeco pro materiala maljuniĝo aŭ poluaĵa adsorbado. La glataj kaj densaj surfacaj karakterizaĵoj povas pli efike redukti polvo-adheron, plenumante la striktajn senpolvajn normojn de puraj ĉambroj kaj eliminante la riskon de poluado de la platoj de la radiko.
La efiko de "ora partnereco" de liniaj motoroj kaj granito
Linearaj motoroj, kun siaj karakterizaĵoj de neniu mekanika transmisia libera spaco, alta akcelo kaj alta respondrapido, dotas la transmision de la silabplatoj per la avantaĝoj de "rapida, preciza kaj stabila". La granita bazo provizas solidan kaj fidindan subtenplatformon por ĝi. La du kunlaboras por atingi salton en rendimento. Kiam la lineara motoro pelas la silabplaton por kuri sur la granita baza trako, la forta rigideco kaj stabileco de la bazo certigas la efikan transmision de la motora mova forto, evitante fortperdon aŭ transmisian malfruon kaŭzitan de baza deformado.
Pelitaj de la postulo je nanoskala precizeco, linearaj motoroj povas atingi submikronan nivelon de delokiĝkontrolo. La altprecizaj prilaboraj karakterizaĵoj de granitaj bazoj (kun platecaj eraroj kontrolitaj ene de ±1μm) perfekte kongruas kun la preciza kontrolo de linearaj motoroj, kune certigante, ke la pozicia eraro dum transdono de la vafloj estas malpli ol ±5μm. Ĉu temas pri altrapida transportado inter diversaj procesaj ekipaĵoj aŭ preciza parkado por transdono de la vafloj, la kombinaĵo de linearaj motoroj kaj granitaj bazoj povas certigi "nulan devion kaj nulan tremon" en la transdono de la vafloj.
Verifikado de industriaj praktikoj: Duobla plibonigo de efikeco kaj rendimento
Post ĝisdatigo de sia sistemo por translokigo de valfato, ĉefa tutmonda semikonduktaĵa entrepreno adoptis solvon kun lineara motoro kaj granita bazo, kiu pliigis la efikecon de la translokigo de valfato je 40%, reduktis la oftecon de eraroj kiel kolizioj kaj deŝovoj dum la translokiga procezo je 85%, kaj plibonigis la ĝeneralan rendimenton de blatoj je 6%. Malantaŭ la datumoj kuŝas la garantio de transmisia stabileco provizita de la granita bazo kaj la altrapida kaj preciza sinergia efiko de la lineara motoro, kiu signife reduktas la perdon kaj eraron en la transmisia procezo de la valfato.
De materialaj ecoj ĝis preciza fabrikado, de rendimentaj avantaĝoj ĝis praktika kontrolado, la kombinaĵo de linearaj motoroj kaj granitaj bazoj redifinis la normojn de sistemoj por translokigo de vaflaj. En la estonteco, kiam la duonkondukta teknologio progresos al 3nm kaj 2nm procezoj, granitaj materialoj certe daŭre injektos fortan impulson en la disvolviĝon de la industrio per siaj neanstataŭigeblaj avantaĝoj.
Afiŝtempo: 14-majo-2025