Granita lito estas grava komponanto en diversaj duonkonduktaĵoj.Kiel tre stabila kaj rigida materialo, granito estas vaste utiligita kiel bazo por semikonduktaĵaj pretigaj ekipaĵoj.Ĝi estas karakterizita per sia malalta termika ekspansiokoeficiento, alta dimensia stabileco kaj bonegaj mekanikaj trajtoj.Pro ĉi tiuj propraĵoj, granita lito estas plej ofte uzata en tri malsamaj specoj de duonkonduktaj aparatoj - metrologia ekipaĵo, litografio ekipaĵo, kaj inspekta ekipaĵo.
Metrologia ekipaĵo estas uzata por mezuri kaj detekti la kritikajn grandecojn de la duonkonduktaĵaparatoj.Ĝi ludas decidan rolon en konservado de la kvalito kaj konsistenco de la semikonduktaĵa produktadprocezo.Metrologiekipaĵo inkludas instrumentojn kiel ekzemple optikaj mikroskopoj, elektronaj mikroskopoj, kaj atomfortmikroskopoj (AFMoj).Ĉar la agado de ĉi tiuj mezuriloj dependas de ilia stabileco, precizeco kaj vibrorezisto, granito estas la ideala elekto por ilia lita materialo.La unuformeco kaj stabileco de la granita lito provizas stabilan platformon por la instrumentoj, kiu plibonigas ilian precizecon kaj fidindecon.
Litografia ekipaĵo estas uzata por fari la mikroĉippadronojn sur la oblato.La litografioprocezo postulas altnivelan de precizeco kaj precizeco por krei kompleksajn cirkvitojn kaj plibonigi blat-efikecon.La litografiekipaĵo inkluzivas paŝajn kaj skanajn sistemojn, kiuj uzas lumon por transdoni bildojn sur la oblaton.Ĉar la litografioprocezo estas tre sentema al vibrado kaj termikaj ŝanĝoj, altkvalita lito estas esenca por certigi la stabilecon kaj ripeteblon de la litografioprocezo.Granitaj litoj provizas la bezonatan stabilecon kaj striktan vibradan malseketigadon por litografisistemoj.La granita lito permesas al la paŝo aŭ skansistemo konservi precizajn spacajn rilatojn certigante altan precizecon kaj finan produktan kvaliton.
Inspekta ekipaĵo estas uzata por detekti iujn ajn difektojn en la duonkonduktaj aparatoj.Inspekta ekipaĵo inkludas sistemojn kiel ekzemple laseraj skanaj mikroskopoj, elektronaj mikroskopoj, kaj optikaj mikroskopoj.Kun la bezono, ke ĉi tiuj aparatoj estu tre precizaj, stabilaj kaj vibrorezistaj, granitaj litoj estas la perfekta materialo.La mekanikaj propraĵoj kaj dimensia stabileco de granito helpas en vibroizolado, kiu plibonigas la precizecon de la eligo de la inspekta ekipaĵo.
Konklude, granita lito estas decida al la duonkondukta industrio kaj estas vaste uzata en malsamaj specoj de ekipaĵo.Ĝiaj unikaj propraĵoj kiel dimensia stabileco, malalta termika ekspansio-koeficiento kaj bonega mekanika stabileco igas graniton la ideala elekto por la lita materialo de duonkondukta ekipaĵo.Ĉar la altkvalita granita lito provizas la necesan stabilecon, precizecon kaj vibroreziston al la duonkondukta ekipaĵo, ĝi finfine plibonigas la kvaliton de la fina produkto.Tial, la uzo de granita lito en duonkondukta ekipaĵo certe daŭros dum la venontaj jaroj.
Afiŝtempo: Apr-03-2024