Granitaj materialoj estas vaste uzataj en la industrio de duonkonduktaĵoj pro siaj bonegaj trajtoj, kiel alta stabileco, malalta termika ekspansio kaj alta rezisto al korodo.Ĉi tiuj propraĵoj igas graniton ideala materialo por konstrui altprecizajn komponentojn en oblattransiga sistemo.
En la semikonduktaĵproduktadprocezo, la oblattransiga sistemo ludas kritikan rolon en transportado de oblatoj trans malsamaj stadioj de la produktadprocezo.Precizeco kaj precizeco estas la esencaj postuloj por ĉi tiuj sistemoj ĉar eĉ etaj devioj povus endanĝerigi la tutan procezon.Tial, komponentoj en la oblattransiga sistemo devas esti faritaj el altkvalitaj materialoj, kaj granito plenumas tiujn kriteriojn.
Kelkaj partoj de la oblattransiga sistemo kiuj estas faritaj el granitaj materialoj inkludas:
1. Vakuo Chuck Tablo
La vakua tablo estas uzata por teni la oblaton dum la procezo, kaj ĝi devas havi stabilan surfacon por certigi, ke la oblato ne estas difektita.Granito estas ideala materialo por fari ĉi tiun tablon ĉar ĝi havas ebenan, neporan surfacon, kiu provizas altan stabilecon kaj precizecon.Plie, granito havas malaltan koeficienton de termika ekspansio, igante ĝin rezistema al temperaturŝanĝoj kiuj povus kaŭzi dimensiajn ŝanĝojn en la oblato.
2. Aera-Portanta Etapo
La aerporta stadio estas uzata por transporti la oblaton tra malsamaj stadioj de la produktada procezo.La scenejo estas realigita por disponigi senfrikcian movadon, kiu postulas altan precizecon kaj stabilecon.Granito estas uzata en ĉi tiu apliko ĉar ĝi estas rigida kaj malmola ŝtono, kaj ĝi rezistas deformadon kaj eluziĝon laŭlonge de la tempo.
3. Linear Movad Guides
La linearaj movaj gvidiloj estas uzataj por gvidi la aerportantan stadion, kaj ili devas esti precize poziciigitaj por minimumigi erarojn.Granito estas uzata por konstrui ĉi tiun gvidilon ĉar ĝi havas bonegan mekanikan stabilecon kaj forton.La materialo ankaŭ estas koroda imuna, kio certigas la longvivecon de la gvidsistemo.
4. Metrologia Ekipaĵo
Metrologia ekipaĵo estas uzata por mezuri la dimensiojn kaj ecojn de la oblato dum la produktada procezo.Granito estas ideala materialo por konstrui ĉi tiun ekipaĵon ĉar ĝi havas altan rigidecon, malaltan ekspansion kaj minimuman deformadon sub ŝarĝo.Krome, la termika stabileco de granito certigas, ke la metrologia ekipaĵo restas stabila kaj preciza laŭlonge de la tempo.
Konklude, la industrio de duonkonduktaĵoj dependas de precizeco kaj precizeco, kaj granitaj materialoj pruvis esti tre fidindaj kaj stabilaj en la produktada procezo.Kun multaj kritikaj komponentoj en la oblattransiga sistemo postulanta altan stabilecon, precizecon kaj malaltan termikan ekspansion, inĝenieroj turnis sin al granitaj materialoj por plenumi ĉi tiujn kritikajn postulojn.
Afiŝtempo: Mar-19-2024