Granitaj materialoj estas vaste uzataj en la duonkonduktaĵa industrio pro siaj bonegaj karakterizaĵoj, kiel alta stabileco, malalta termika ekspansio kaj alta rezisto al korodo. Ĉi tiuj ecoj faras graniton ideala materialo por konstrui altprecizajn komponantojn en vaflaj translokigaj sistemoj.
En la procezo de fabrikado de duonkonduktaĵoj, la sistemo por translokigi blatojn ludas gravan rolon en la transportado de blatoj tra malsamaj stadioj de la fabrikada procezo. Precizeco kaj precizeco estas la esencaj postuloj por ĉi tiuj sistemoj, ĉar eĉ malgrandaj devioj povus endanĝerigi la tutan procezon. Tial, komponantoj en la sistemo por translokigi blatojn devas esti faritaj el altkvalitaj materialoj, kaj granito plenumas tiujn kriteriojn.
Kelkaj partoj de la vafla transiga sistemo, kiuj estas faritaj el granitmaterialoj, inkluzivas:
1. Tablo por vakua ĉuko
La vakua ĉuktablo estas uzata por teni la oblato dum la procezo, kaj ĝi devas havi stabilan surfacon por certigi, ke la oblato ne difektiĝos. Granito estas ideala materialo por fari ĉi tiun tablon, ĉar ĝi havas platan, ne-poran surfacon, kiu provizas altan stabilecon kaj precizecon. Krome, granito havas malaltan koeficienton de termika ekspansio, igante ĝin rezistema al temperaturŝanĝoj, kiuj povus kaŭzi dimensiajn ŝanĝojn en la oblato.
2. Aerportanta Stadio
La aerportanta ŝtupo estas uzata por transporti la siliciplaton tra malsamaj stadioj de la fabrikada procezo. La ŝtupo estas desegnita por provizi senprobleman movadon, kiu postulas altan precizecon kaj stabilecon. Granito estas uzata en ĉi tiu apliko ĉar ĝi estas rigida kaj malmola ŝtono, kaj ĝi rezistas deformadon kaj eluziĝon laŭlonge de la tempo.
3. Gvidiloj por lineara movo
La liniaj movgvidiloj estas uzataj por gvidi la aerlagro-scenejon, kaj ili devas esti precize poziciigitaj por minimumigi erarojn. Granito estas uzata por konstrui ĉi tiun gvidilon ĉar ĝi havas bonegan mekanikan stabilecon kaj forton. La materialo ankaŭ estas korodorezista, kio certigas la longdaŭrecon de la gvidsistemo.
4. Metrologia Ekipaĵo
Metrologia ekipaĵo estas uzata por mezuri la dimensiojn kaj ecojn de la siliciplato dum la fabrikada procezo. Granito estas ideala materialo por konstrui ĉi tiun ekipaĵon ĉar ĝi havas altan rigidecon, malaltan ekspansion kaj minimuman deformadon sub ŝarĝo. Krome, la termika stabileco de granito certigas, ke la metrologia ekipaĵo restas stabila kaj preciza laŭlonge de la tempo.
Konklude, la duonkonduktaĵa industrio dependas de precizeco kaj precizeco, kaj granitaj materialoj pruviĝis esti tre fidindaj kaj stabilaj en la fabrikada procezo. Ĉar multaj kritikaj komponantoj en la sistemo de transigo de vafloj postulas altan stabilecon, precizecon kaj malaltan termikan ekspansion, inĝenieroj turnis sin al granitaj materialoj por plenumi ĉi tiujn kritikajn postulojn.
Afiŝtempo: 19-a de marto 2024