Granito estas malmola kaj daŭra materialo, kiu ofte estas uzata en la konstrua industrio. Tamen ĝi ankaŭ havas propraĵojn, kiuj faras ĝin utila en fabrikado de duonkonduktaĵoj, precipe en la fabrikado kaj prilaborado de integraj cirkvitoj. Granitaj komponentoj, kiel granitaj tabloj kaj granitaj blokoj, estas vaste uzataj por sia stabileco, ebenaĵo kaj malalta termika ekspansia koeficiento.
Unu el la primaraj uzoj de granitaj komponentoj en semikonduktaĵa fabrikado estas en la procezo de fabrikado. Siliciaj vafoj, la bazaj konstruaj blokoj de integritaj cirkvitoj, devas esti fabrikitaj kun alta precizeco kaj precizeco. Ajna distordo aŭ movado dum la procezo povas konduki al difektoj, kiuj povas influi la kvaliton kaj funkciecon de la integritaj cirkvitoj. Granitaj tabloj, kun sia alta stabileco kaj ebeneco, provizas bonan platformon por la wafer -pretiga ekipaĵo. Ili ankaŭ estas imunaj kontraŭ termika ekspansio kaj kuntiriĝo kaŭzita de la hejtado kaj malvarmigo bezonata en la procezo.
Granitaj blokoj ankaŭ estas uzataj en semikonduktaĵa prilaborado por sia termika stabileco. Dum aktualaj aŭ deponaj procezoj, varmaj gasoj aŭ plasmoj estas uzataj por modifi la surfacon de la silicia vakso. La temperaturo de la ondeto devas esti kontrolita por certigi, ke la procezo efektiviĝas efike kaj precize. Granitaj blokoj, kun sia malalta termika ekspansia koeficiento, helpas stabiligi la temperaturon de la ondo, reduktante la riskon de temperaturaj fluktuoj, kiuj povus influi la kvaliton de la prilaborita materialo.
Krom la fabrikado kaj prilaborado, granitaj komponentoj ankaŭ estas uzataj en la metrologio kaj inspektaj stadioj de duonkondukta fabrikado. Metrologiaj mezuradoj estas faritaj por certigi, ke la grandeco, formo kaj pozicio de la strukturoj sur la ondeto estas ene de la bezonataj specifoj. Granitaj blokoj estas uzataj kiel referencaj normoj en ĉi tiuj mezuradoj pro sia dimensia stabileco kaj precizeco. Ili ankaŭ estas uzataj en inspektaj stadioj, kie la kvalito de la integritaj cirkvitoj estas kontrolita sub alta pligrandiĝo.
Entute, la uzo de granitaj komponentoj en semikonduktaĵa fabrikado pliiĝis en la lastaj jaroj. La bezono de alta precizeco, precizeco kaj stabileco en la fabrikado kaj prilaborado de integraj cirkvitoj pelis la adopton de ĉi tiuj materialoj fare de duonkonduktaĵoj. La unikaj ecoj de granito, kiel ĝia malmoleco, stabileco kaj malalta termika ekspansia koeficiento, faras ĝin bonega elekto por uzo en ĉi tiuj procezoj. Kun la daŭra disvolviĝo kaj plibonigo de duonkondukta teknologio, la uzo de granitaj komponentoj atendas kreski plu en la estonteco.
Afiŝotempo: Dec-05-2023