Granito estas malmola kaj daŭra materialo, kiu ofte estas uzata en la konstruindustrio. Tamen, ĝi ankaŭ havas ecojn, kiuj igas ĝin utila en la fabrikado de semikonduktaĵoj, precipe en la fabrikado kaj prilaborado de integraj cirkvitoj. Granitaj komponantoj, kiel granitaj tabloj kaj granitaj blokoj, estas vaste uzataj pro sia stabileco, plateco kaj malalta termika ekspansiokoeficiento.
Unu el la ĉefaj uzoj de granitaj komponantoj en duonkonduktaĵa fabrikado estas en la fabrikada procezo. Siliciaj platetoj, la bazaj konstrubriketoj de integraj cirkvitoj, devas esti fabrikitaj kun alta precizeco kaj precizeco. Ĉia distordo aŭ movado dum la procezo povas konduki al difektoj, kiuj povas influi la kvaliton kaj funkciecon de la integraj cirkvitoj. Granitaj platetoj, kun sia alta stabileco kaj plateco, provizas bonan platformon por la prilabora ekipaĵo de platetoj. Ili ankaŭ estas rezistemaj al termika ekspansio kaj kuntiriĝo kaŭzitaj de la varmigo kaj malvarmigo necesaj en la procezo.
Granitaj blokoj ankaŭ estas uzataj en semikonduktaĵa prilaborado pro ilia termika stabileco. Dum gravuraj aŭ deponaj procezoj, varmaj gasoj aŭ plasmoj estas uzataj por modifi la surfacon de la silicia silicia oblato. La temperaturo de la oblato devas esti kontrolita por certigi, ke la procezo estas efektivigita efike kaj precize. Granitaj blokoj, kun sia malalta termika ekspansia koeficiento, helpas stabiligi la temperaturon de la oblato, reduktante la riskon de temperaturfluktuoj, kiuj povus influi la kvaliton de la prilaborita materialo.
Krom la fabrikadaj kaj prilaboraj procezoj, granitaj komponantoj ankaŭ estas uzataj en la metrologiaj kaj inspektaj stadioj de semikonduktaĵa fabrikado. Metrologiaj mezuradoj estas faritaj por certigi, ke la grandeco, formo kaj pozicio de la strukturoj sur la siliciplato estas ene de la postulataj specifoj. Granitaj blokoj estas uzataj kiel referencaj normoj en ĉi tiuj mezuradoj pro ilia dimensia stabileco kaj precizeco. Ili ankaŭ estas uzataj en inspektaj stadioj, kie la kvalito de la integraj cirkvitoj estas kontrolata sub alta pligrandigo.
Ĝenerale, la uzo de granitaj komponantoj en duonkonduktaĵa fabrikado pliiĝis en la lastaj jaroj. La bezono de alta precizeco, precizeco kaj stabileco en la fabrikado kaj prilaborado de integraj cirkvitoj pelis la adopton de ĉi tiuj materialoj fare de duonkonduktaĵaj fabrikantoj. La unikaj ecoj de granito, kiel ĝia malmoleco, stabileco kaj malalta termika ekspansiokoeficiento, igas ĝin bonega elekto por uzo en ĉi tiuj procezoj. Kun la daŭra disvolviĝo kaj plibonigo de duonkonduktaĵa teknologio, oni atendas, ke la uzo de granitaj komponantoj plu kreskos en la estonteco.
Afiŝtempo: Dec-05-2023