Granito estas malmola kaj daŭrema materialo, kiu estas ofte uzata en la konstruindustrio.Tamen, ĝi ankaŭ havas trajtojn kiuj igas ĝin utila en semikonduktaĵproduktado, precipe en la fabrikado kaj pretigo de integraj cirkvitoj.Granitaj komponantoj, kiel granitaj tabloj kaj granitaj blokoj, estas vaste uzataj pro sia stabileco, plateco kaj malalta termika ekspansiokoeficiento.
Unu el la primaraj uzoj de granitkomponentoj en semikonduktaĵproduktado estas en la elpensprocezo.Siliciaj oblatoj, la bazaj konstrubriketoj de integraj cirkvitoj, devas esti fabrikitaj kun alta precizeco kaj precizeco.Ajna misprezento aŭ movado dum la procezo povas konduki al difektoj kiuj povas influi la kvaliton kaj funkciecon de la integraj cirkvitoj.Granitaj tabloj, kun sia alta stabileco kaj plateco, disponigas bonan platformon por la oblataj pretigaj ekipaĵoj.Ili ankaŭ estas rezistemaj al termika ekspansio kaj kuntiriĝo kaŭzitaj de la hejtado kaj malvarmigo postulataj en la procezo.
Granitblokoj ankaŭ estas uzitaj en semikonduktaĵpretigo por sia termika stabileco.Dum akvaforto aŭ demetprocezoj, varmaj gasoj aŭ plasmoj kutimas modifi la surfacon de la silicioblato.La temperaturo de la oblato devas esti kontrolita por certigi, ke la procezo efektiviĝas efike kaj precize.Granitaj blokoj, kun sia malalta termika ekspansio-koeficiento, helpas stabiligi la temperaturon de la oblato, reduktante la riskon de temperaturfluktuoj kiuj povus influi la kvaliton de la prilaborita materialo.
Krom la fabrikado kaj pretigprocezoj, granitaj komponantoj ankaŭ estas uzataj en la metrologio kaj inspektadfazoj de semikonduktaĵproduktado.Metrologiaj mezuradoj estas faritaj por certigi, ke la grandeco, formo kaj pozicio de la strukturoj sur la oblato estas ene de la postulataj specifoj.Granitblokoj estas utiligitaj kiel referencnormoj en tiuj mezuradoj pro sia dimensia stabileco kaj precizeco.Ili ankaŭ estas uzitaj en inspektadfazoj, kie la kvalito de la integraj cirkvitoj estas kontrolita sub alta pligrandigo.
Ĝenerale, la uzo de granitaj komponantoj en semikonduktaĵa fabrikado pliiĝis en la lastaj jaroj.La bezono de alta precizeco, precizeco kaj stabileco en la fabrikado kaj prilaborado de integraj cirkvitoj pelis la adopton de ĉi tiuj materialoj de semikonduktaĵproduktantoj.La unikaj propraĵoj de granito, kiel ekzemple ĝia malmoleco, stabileco, kaj malalta termika ekspansio-koeficiento, igas ĝin bonega elekto por uzo en ĉi tiuj procezoj.Kun la daŭra evoluo kaj plibonigo de duonkonduktaĵoteknologio, la uzo de granitaj komponantoj estas atendita kreskos plu en la estonteco.
Afiŝtempo: Dec-05-2023