En la kampo de inspektado de duonkonduktaĵaj sifloj, la pureco de la pura ĉambra medio estas rekte rilata al la produkta rendimento. Ĉar la precizeco de la ĉipfabrikadaj procezoj daŭre pliboniĝas, la postuloj por la portantaj platformoj de detektiloj fariĝas pli kaj pli striktaj. Granitaj platformoj, kun siaj karakterizaĵoj de nula metaljona liberigo kaj malalta partikla poluado, superis tradiciajn rustorezistajn ŝtalajn materialojn kaj fariĝis la preferata solvo por inspektaj ekipaĵoj de sifloj.
Granito estas natura magma roko ĉefe konsistanta el nemetalaj mineraloj kiel kvarco, feldspato kaj glimo. Ĉi tiu karakterizaĵo donas al ĝi la avantaĝon de nula liberigo de metaljonoj. Kontraste, rustorezista ŝtalo, kiel alojo de metaloj kiel fero, kromo kaj nikelo, estas ema al elektrokemia korodo sur sia surfaco pro la erozio de akva vaporo kaj acidaj aŭ alkalaj gasoj en puraĉambra medio, rezultante en la precipitaĵo de metaljonoj kiel Fe²⁺ kaj Cr³⁺. Post kiam ĉi tiuj etaj jonoj alkroĉiĝas al la surfaco de la sigelo, ili ŝanĝos la elektrajn ecojn de la duonkondukta materialo en postaj procezoj kiel fotolitografio kaj gravurado, kaŭzos sojlan tensiodirivon de la transistoro, kaj eĉ kondukos al kurtaj cirkvitoj en la cirkvito. Testdatumoj de profesiaj institucioj montras, ke post kiam la granita platformo estis kontinue eksponita al simulita puraĉambra temperaturo kaj humideco (23±0.5℃, 45%±5% RH) dum 1000 horoj, la liberigo de metaljonoj estis pli malalta ol la detekta limo (< 0.1ppb). La difektofteco de oblatoj kaŭzita de metaljona poluado dum uzado de rustorezistaŝtalaj platformoj povas esti tiel alta kiel 15% ĝis 20%.
Rilate al partikla poluado, granitaj platformoj ankaŭ funkcias escepte bone. Puraj ĉambroj havas ekstreme altajn postulojn pri la koncentriĝo de suspenditaj partikloj en la aero. Ekzemple, en puraj ĉambroj de ISO-Klaso 1, la nombro de 0.1μm partikloj permesitaj por kuba metro ne superas 10. Eĉ se la rustorezista ŝtala platformo spertis poluradon, ĝi ankoraŭ povas produkti metalajn derompaĵojn aŭ oksidajn skalojn, kiuj senŝeliĝas pro eksteraj fortoj kiel ekipaĵa vibrado kaj personaro, kio povas interrompi la detektan optikan vojon aŭ grati la surfacon de la sigelo. Granitaj platformoj, kun sia densa minerala strukturo (denseco ≥2.7g/cm³) kaj alta malmoleco (6-7 sur la Mohs-skalo), ne emas eluziĝi aŭ rompiĝi dum longdaŭra uzo. Mezuritaj mezuroj montras, ke ili povas redukti la koncentriĝon de suspenditaj partikloj en la aero de la detektila ekipaĵa areo je pli ol 40% kompare kun rustorezista ŝtala platformo, efike konservante la normojn de puraĉambra grado.
Aldone al ĝiaj puraj karakterizaĵoj, la ampleksa funkciado de granitaj platformoj ankaŭ multe superas tiun de neoksidebla ŝtalo. Rilate al termikan stabilecon, ĝia koeficiento de termika ekspansio estas nur (4-8) ×10⁻⁶/℃, malpli ol duono de tiu de neoksidebla ŝtalo (ĉirkaŭ 17×10⁻⁶/℃), kio povas pli bone konservi la poziciigan precizecon de la detektila ekipaĵo kiam la temperaturo en la pura ĉambro fluktuas. La alta dampa karakterizaĵo (dampa proporcio > 0.05) povas rapide malfortigi la vibradon de la ekipaĵo kaj malhelpi la skuadon de la detektila sondilo. Ĝia natura korodrezisto ebligas al ĝi resti stabila eĉ kiam eksponita al fotorezistaj solviloj, gratgasoj kaj aliaj kemiaĵoj sen la bezono de aldona tegaĵoprotekto.
Nuntempe, granitaj platformoj estas vaste uzataj en progresintaj fabrikoj por fabrikado de vaflaj. Datumoj montras, ke post la adopto de la granita platformo, la ofteco de misjuĝado en detekto de partiklaj surfacoj de vaflaj malpliiĝis je 60%, la kalibrada ciklo de ekipaĵo triobliĝis, kaj la totala produktokosto malaltiĝis je 25%. Dum la duonkonduktaĵa industrio moviĝas al pli alta precizeco, granitaj platformoj, kun siaj kernaj avantaĝoj kiel nula liberigo de metaljonoj kaj malalta partikla poluado, daŭre provizos stabilan kaj fidindan subtenon por vafla inspektado, fariĝante grava forto, kiu pelas la progreson de la industrio.
Afiŝtempo: 20-a de majo 2025