En la metiejo pri fabrikado de duonkonduktaĵoj, la postuloj de la ĉipa fabrikada procezo rilate al mediaj kondiĉoj kaj ekipaĵa precizeco estas ekstremaj, kaj ajna eta devio povas konduki al signifa malpliiĝo de la ĉipa rendimento. La preciza gantria movplatformo XYZT dependas de granitaj komponantoj por kunlabori kun aliaj partoj de la platformo por konstrui solidan fundamenton por atingi nanoskalan precizecon.
Bonegaj vibradaj blokaj ecoj
En la laborejo pri fabrikado de semikonduktaĵoj, la funkciado de periferiaj ekipaĵoj kaj la ĉirkaŭvojaĝado de la personaro povas kaŭzi vibradon. La interna strukturo de granitaj komponantoj estas densa kaj uniforma, kun naturaj altaj dampigaj karakterizaĵoj, kvazaŭ efika vibra "barilo". Kiam la ekstera vibrado estas transdonita al la platformo XYZT, la granita komponanto povas efike malfortigi pli ol 80% de la vibra energio kaj redukti la interferon de vibrado sur la precizeco de la movo de la platformo. Samtempe, la platformo estas ekipita per altpreciza aera flosilo-gvidilo, kiu funkcias kune kun granitaj komponantoj. La aera flosilo-gvidilo uzas la stabilan gasan filmon formitan de altprema gaso por realigi la senkontaktan pendomovadon de la movaj partoj de la platformo kaj redukti la malgrandan vibradon kaŭzitan de mekanika frotado. Kune, la du certigas, ke la precizeco de la platformo ĉiam estas konservata je nanometra nivelo en ŝlosilaj procezoj kiel ĉiplitografio kaj gravurado, kaj evitas la devion de ĉiplicirkvitaj padronoj kaŭzitaj de vibrado.
Bonega termika stabileco
La fluktuoj de temperaturo kaj humideco en la metiejo havas grandan influon sur la precizecon de ĉipfabrikada ekipaĵo. La termika ekspansiokoeficiento de granito estas tre malalta, ĝenerale 5-7 ×10⁻⁶/℃, la grandeco preskaŭ neŝanĝiĝas kiam la temperaturo ŝanĝiĝas. Eĉ se la temperaturdiferenco inter tago kaj nokto en la metiejo aŭ la varmoproduktado de la ekipaĵo kaŭzas fluktuojn en la ĉirkaŭa temperaturo, la granitaj komponantoj povas resti stabilaj por malhelpi deformiĝon de la platformo pro termika ekspansio kaj kuntiriĝo. Samtempe, la inteligenta temperaturkontrola sistemo ekipita per la platformo monitoras la ĉirkaŭan temperaturon en reala tempo, aŭtomate agordas la klimatizilon kaj varmodisradian ekipaĵon, kaj konservas la laborejan temperaturon je 20 °C ±1 °C. Kombinite kun la avantaĝoj de varmostabileco de granito, la platformo certigas, ke dum longdaŭra funkciado, la movadprecizeco de ĉiu akso ĉiam plenumas la nanometrajn precizecnormojn por ĉipfabrikado, certigante, ke la grandeco de la ĉiplitografia ŝablono estas preciza kaj la gravura profundo estas uniforma.
Plenumu la bezonojn de pura medio
La semikonduktaĵa fabrikada laborejo bezonas konservi altan gradon de pureco por malhelpi, ke polvopartikloj malpurigu la peceton. Granita materialo mem ne produktas polvon, kaj la surfaco estas glata, ne facile sorbas polvon. La platformo kiel tuto adoptas tute fermitan aŭ duonfermitan strukturan dezajnon por redukti la eniron de ekstera polvo. La interna aercirkulada sistemo estas ligita kun la pura klimatizilo de la laborejo por certigi, ke la interna aerpureco atingas la nivelon postulitan de peceta fabrikado. En ĉi tiu pura medio, granitaj komponantoj ne influos la rendimenton pro polverozio, kaj ŝlosilaj komponantoj kiel altprecizaj sensiloj kaj motoroj de la platformo ankaŭ povas funkcii stabile, provizante kontinuan kaj fidindan nanoskalan precizecan garantion por peceta fabrikado, kaj helpante la semikonduktaĵan industrion moviĝi al pli alta proceznivelo.
Afiŝtempo: 14-a de aprilo 2025