En la fabrikado de duonkonduktaĵoj, la fotolitografia maŝino estas ŝlosila aparato, kiu determinas la precizecon de ĉipoj, kaj la granita bazo, kun siaj multnombraj karakterizaĵoj, fariĝis nemalhavebla komponanto de la fotolitografia maŝino.
Termika stabileco: La "Ŝildo" kontraŭ temperaturŝanĝoj
Kiam fotolitografia maŝino funkcias, ĝi generas grandan kvanton da varmo. Eĉ temperaturŝanĝo de nur 0.1℃ povas kaŭzi deformiĝon de la ekipaĵaj komponantoj kaj influi la fotolitografian precizecon. La koeficiento de termika ekspansio de granito estas ekstreme malalta, nur 4-8 ×10⁻⁶/℃, kio estas proksimume 1/3 de tiu de ŝtalo kaj 1/5 de tiu de aluminia alojo. Ĉi tio ebligas al la granita bazo konservi dimensian stabilecon kiam la fotolitografia maŝino funkcias dum longa tempo aŭ kiam la ĉirkaŭa temperaturo ŝanĝiĝas, certigante la precizan poziciigon de optikaj komponantoj kaj mekanikaj strukturoj.
Bonega kontraŭvibra agado: La "spongo", kiu sorbas vibradon
En semikonduktaĵa fabriko, la funkciado de ĉirkaŭa ekipaĵo kaj la movado de homoj povas ĉiuj generi vibrojn. Granito havas altan densecon kaj malmolan teksturon, kaj ĝi havas bonegajn dampigajn ecojn, kun dampiga proporcio 2 ĝis 5-obla ol tiu de metaloj. Kiam eksteraj vibroj estas transdonitaj al la granita bazo, la frotado inter la internaj mineralaj kristaloj konvertas la vibran energion en varmenergion por disipado, kio povas signife redukti la vibron en mallonga tempo, permesante al la fotolitografia maŝino rapide restarigi stabilecon kaj eviti malklariĝon aŭ misaranĝon de la fotolitografia ŝablono pro vibro.
Kemia stabileco: La "Gardanto" de Pura Medio
La interno de fotolitografia maŝino kontaktas diversajn kemiajn mediojn, kaj ordinaraj metalaj materialoj emas korodi aŭ liberiĝi de partikloj. Granito konsistas el mineraloj kiel kvarco kaj feldspato. Ĝi havas stabilajn kemiajn ecojn kaj fortan korodreziston. Post trempado en acidaj kaj alkalaj solvaĵoj, la surfaca korodo estas ekstreme malgranda. Dume, ĝia densa strukturo preskaŭ ne generas rubon aŭ polvon, plenumante la postulojn de la plej altaj normoj por puraj ĉambroj kaj reduktante la riskon de poluado de la sigeloj.
Adaptiĝemo de prilaborado: La "ideala materialo" por krei precizajn komparnormojn
La kernaj komponantoj de la fotolitografia maŝino devas esti instalitaj sur altpreciza referenca surfaco. La interna strukturo de granito estas uniforma kaj ĝi estas facile prilaborebla ĝis ekstreme alta precizeco per muelado, polurado kaj aliaj teknikoj. Ĝia plateco povas atingi ≤0.5μm/m, kaj la surfaca malglateco Ra estas ≤0.05μm, provizante precizan instalbazon por komponantoj kiel optikaj lensoj.
Longa vivdaŭro kaj senprizorgada: La "akraj iloj" por kostredukto
Kompare kun metalaj materialoj, kiuj emas laciĝi kaj fendiĝi dum longdaŭra uzado, granito apenaŭ spertas plastan deformadon aŭ rompiĝon sub normalaj ŝarĝoj, kaj ĝi ne bezonas surfacan traktadon, tiel evitante la riskon de senŝeliĝo kaj poluado de la tegaĵo. En praktikaj aplikoj, post multaj jaroj da uzado, la ŝlosilaj rendimentaj indikiloj de la granita bazo povas resti stabilaj, reduktante la funkciigajn kaj prizorgadajn kostojn de la ekipaĵo.
De termika stabileco, vibrorezisto ĝis kemia inerteco, la multnombraj karakterizaĵoj de la granita bazo perfekte plenumas la postulojn de la fotolitografia maŝino. Dum la ĉipfabrikada procezo daŭre evoluas al pli alta precizeco, granitaj bazoj daŭre ludos neanstataŭigeblan rolon en la kampo de duonkonduktaĵa fabrikado.
Afiŝtempo: 20-a de majo 2025