En la kampo de duonkonduktaĵa fabrikado, kiel la kerna ekipaĵo kiu determinas la precizecon de la ĉipa fabrikada procezo, la stabileco de la interna medio de la fotolitografia maŝino estas de esenca graveco. De la ekscito de la ekstreme ultraviola lumfonto ĝis la funkciado de la nanoskala preciza mova platformo, ne povas esti plej eta devio en ĉiu ligo. Granitaj bazoj, kun serio da unikaj ecoj, montras senkomparajn avantaĝojn en certigado de la stabila funkciado de fotolitografiaj maŝinoj kaj plibonigado de fotolitografia precizeco.
Elstara elektromagneta ŝirma efikeco
La interno de fotolitografia maŝino estas plena de kompleksa elektromagneta medio. Elektromagneta interfero (EMI) generita de komponantoj kiel ekzemple ekstreme ultraviola lumfontoj, motoroj kaj altfrekvencaj elektroprovizoj, se ne efike kontrolita, grave influos la funkciadon de precizaj elektronikaj komponantoj kaj optikaj sistemoj ene de la ekipaĵo. Ekzemple, interfero povas kaŭzi malgrandajn deviojn en la fotolitografiaj padronoj. En progresintaj fabrikadaj procezoj, tio sufiĉas por konduki al malĝustaj transistoraj konektoj sur la ĉipo, signife reduktante la rendimenton de la ĉipo.
Granito estas nemetala materialo kaj ne konduktas elektron memstare. Ne ekzistas elektromagneta indukfenomeno kaŭzita de la movado de liberaj elektronoj interne kiel en metalaj materialoj. Ĉi tiu karakterizaĵo igas ĝin natura elektromagneta ŝirma korpo, kiu povas efike bloki la transmisian vojon de interna elektromagneta interfero. Kiam la alterna magneta kampo generita de la ekstera elektromagneta interferfonto disvastiĝas al la granita bazo, ĉar la granito estas nemagneta kaj ne povas esti magnetigita, la alterna magneta kampo malfacile penetras, tiel protektante la kernajn komponantojn de la fotolitografia maŝino instalita sur la bazo, kiel ekzemple precizaj sensiloj kaj optikaj lensaj alĝustigaj aparatoj, kontraŭ la influo de elektromagneta interfero kaj certigante la precizecon de ŝablona translokigo dum la fotolitografia procezo.
Bonega kongruo kun vakuo
Ĉar ekstrema ultraviola lumo (EUV) estas facile sorbita de ĉiuj substancoj, inkluzive de aero, EUV-litografiaj maŝinoj devas funkcii en vakua medio. Ĉe tiu punkto, la kongruo de la ekipaĵaj komponantoj kun la vakua medio fariĝas aparte grava. En vakuo, materialoj povas dissolviĝi, desorbi kaj liberigi gason. La liberigita gaso ne nur sorbas EUV-lumon, reduktante la intensecon kaj transmisian efikecon de la lumo, sed ankaŭ povas malpurigi optikajn lensojn. Ekzemple, akva vaporo povas oksidigi la lensojn, kaj hidrokarbonoj povas deponi karbonajn tavolojn sur la lensojn, grave influante la kvaliton de litografio.
Granito havas stabilajn kemiajn ecojn kaj apenaŭ eligas gason en vakua medio. Laŭ profesiaj testoj, en simulita vakua medio de fotolitografia maŝino (kiel ekzemple la ultra-pura vakua medio en kiu troviĝas la lumiga optika sistemo kaj la bildiga optika sistemo en la ĉefa ĉambro, postulante H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁷ Pa), la elgasa rapideco de la granita bazo estas ekstreme malalta, multe pli malalta ol tiu de aliaj materialoj kiel metaloj. Ĉi tio ebligas al la interno de la fotolitografia maŝino konservi altan vakuan gradon kaj purecon dum longa tempo, certigante altan transmitancon de EUV-lumo dum transdono kaj ultra-puran uzmedion por optikaj lensoj, plilongigante la servodaŭron de la optika sistemo kaj plibonigante la ĝeneralan rendimenton de la fotolitografia maŝino.
Forta rezisto al vibrado kaj termika stabileco
Dum la fotolitografia procezo, la precizeco je nanometra nivelo postulas, ke la fotolitografia maŝino ne havu la plej etan vibron aŭ termikan deformadon. Mediaj vibroj generitaj de la funkciado de aliaj ekipaĵoj kaj personara movado en la metiejo, same kiel la varmo produktita de la fotolitografia maŝino mem dum funkciado, povas ĉiuj influi la fotolitografian precizecon. Granito havas altan densecon kaj malmolan teksturon, kaj ĝi havas bonegan vibroreziston. Ĝia interna minerala kristala strukturo estas kompakta, kio povas efike malfortigi vibran energion kaj rapide subpremi vibran disvastiĝon. Eksperimentaj datumoj montras, ke sub la sama vibra fonto, la granita bazo povas redukti la vibran amplitudon je pli ol 90% ene de 0.5 sekundoj. Kompare kun la metala bazo, ĝi povas restarigi la ekipaĵon al stabileco pli rapide, certigante la precizan relativan pozicion inter la fotolitografia lenso kaj la sigelo, kaj evitante malklariĝon de padronoj aŭ misaliniigon kaŭzitan de vibrado.
Dume, la koeficiento de termika ekspansio de granito estas ekstreme malalta, proksimume (4-8) ×10⁻⁶/℃, kio estas multe pli malalta ol tiu de metalaj materialoj. Dum la funkciado de la fotolitografia maŝino, eĉ se la interna temperaturo fluktuas pro faktoroj kiel varmogenerado de la lumfonto kaj frotado de mekanikaj komponantoj, la granita bazo povas konservi dimensian stabilecon kaj ne spertos signifan deformiĝon pro termika ekspansio kaj kuntiriĝo. Ĝi provizas stabilan kaj fidindan subtenon por la optika sistemo kaj la preciza mova platformo, konservante la konstantecon de fotolitografia precizeco.
Afiŝtempo: 20-a de majo 2025