En la kampoj de preciza fabrikado kaj scienca esplorado, la plateco de granitaj precizaj platformoj estas ŝlosila indikilo por certigi la precizecon de ekipaĵo. La sekvanta estas detala enkonduko al pluraj ĉefaj detektaj metodoj kaj iliaj funkciaj proceduroj por vi.
I. Lasera interferometra detektometodo
La lasera interferometro estas la preferata ilo por altpreciza detekto de plateco. Prenu la laseran interferometron ZYGO GPI XP kiel ekzemplon, ĝia rezolucio povas atingi 0.1nm. Dum la detekto, unue vicigu la lumfonton de la interferometro kun la platformo kaj dividu la platforman surfacon en 50mm×50mm kradareojn. Poste, la interferfranĝaj datumoj estis kolektitaj punkto post punkto, kaj la datumoj estis adaptitaj kaj analizitaj uzante la polinomon de Zernike por akiri la platecan eraron. Ĉi tiu metodo aplikeblas al altprecizaj platformoj kaj povas detekti platecajn erarojn de ≤0.5μm/m². Ĝi estas ofte uzata en la detekto de fotolitografiaj maŝinoj kaj altkvalitaj tri-koordinataj mezurmaŝinaj platformoj.
Ii. Metodo de Elektronika Nivelaro
La detekto per elektronika nivelaro estas simpla por uzi kaj tre efika. La elektronika nivelo TESA A2 (kun rezolucio de 0.01μm/m) estis elektita kaj aranĝita en 9×9 aro laŭ la X/Y-akso de la platformo. Per sinkrona kolektado de la inklinaj datumoj de ĉiu nivelo kaj poste uzante la metodon de plej malgrandaj kvadratoj por kalkulo, la plateca valoro povas esti precize akirita. Ĉi tiu metodo povas efike identigi la lokajn konkavecajn kaj konveksajn kondiĉojn de la platformo. Ekzemple, fluktuo de 0.2μm ene de 50mm intervalo ankaŭ povas esti detektita, kio taŭgas por rapida detekto en amasproduktado.
Iii. Optika Platkristala Metodo
La metodo de optika plata kristalo taŭgas por la detekto de platformoj kun malgranda areo. Alkroĉu la optikan platan kristalon firme al la testota surfaco sur la platformo kaj observu la interferajn franĝojn formitajn inter ili sub la lumigo de monokromata lumfonto (kiel ekzemple natria lampo). Se la strioj estas paralelaj rektaj strioj, tio indikas bonan platecon. Se aperas kurbaj strioj, kalkulu la platecan eraron surbaze de la grado de la kurbeco de la strio. Ĉiu kurba strio reprezentas altecdiferencon de 0,316 μm, kaj la platecaj datumoj povas esti akiritaj per simpla konverto.
Kvar. Tri-koordinata mezurmaŝina inspekta metodo
La tri-koordinata mezurmaŝino povas atingi alt-precizan mezuradon en tridimensia spaco. Metu la granitan platformon sur la labortablon de la mezurmaŝino kaj uzu la sondilon por unuforme kolekti datumojn de pluraj mezurpunktoj sur la surfaco de la platformo. La mezurmaŝina sistemo prilaboras kaj analizas ĉi tiujn datumojn por generi platecan raporton de la platformo. Ĉi tiu metodo povas ne nur detekti platecon, sed ankaŭ akiri aliajn geometriajn parametrojn de la platformo samtempe, kaj taŭgas por la ampleksa detekto de grandaj granitaj platformoj.
Majstri ĉi tiujn detektometodojn povas helpi vin precize taksi la platecon de la granita preciza platformo kaj provizi fidindan garantion por la stabila funkciado de preciza ekipaĵo.
Afiŝtempo: 29-a de majo 2025