La Preciza Revolucio en semikonduktaĵa fabrikado: Kiam granito renkontas mikronan teknologion
1.1 Neatenditaj malkovroj en materialscienco
Laŭ la raporto de la Internacia Semikonduktaĵa Asocio SEMI de 2023, 63% de la modernaj fabrikoj de la mondo komencis uzi granitajn bazojn anstataŭ tradiciajn metalajn platformojn. Ĉi tiu natura ŝtono, kiu originas de magmo-kondensiĝo profunde en la Tero, reskribas la historion de semikonduktaĵa fabrikado pro siaj unikaj fizikaj ecoj:
Avantaĝo de termika inercio: la termika ekspansia koeficiento de granito 4,5×10⁻⁶/℃ estas nur 1/5 de tiu de neoksidebla ŝtalo, kaj la dimensia stabileco de ±0,001mm estas konservata dum la kontinua laboro de la litografia maŝino.
Vibradaj dampigaj karakterizaĵoj: la interna frikcia koeficiento estas 15 fojojn pli alta ol tiu de gisfero, efike sorbante ekipaĵan mikrovibradon
Nula magnetiga naturo: tute forigu la magnetan eraron en lasera mezurado
1.2 La metamorfoza vojaĝo de minejo al fabrikejo
Prenante la inteligentan produktadbazon de ZHHIMG en Ŝandongo kiel ekzemplon, peco de kruda granito devas sperti:
Ultrapreciza maŝinado: kvin-aksa ligmaŝina centro por 200 horoj da kontinua frezado, surfaca malglateco ĝis Ra0.008μm
Artefarita maljuniĝa traktado: 48 horoj da natura stresliberigo en la laborejo kun konstanta temperaturo kaj humideco, kiu plibonigas la stabilecon de la produkto je 40%
Due, solvu la ses precizecajn problemojn de duonkonduktaĵa fabrikado "roka solvo"
2.1 Skemo por redukti la fragmentiĝan indicon de oblato
Kazdemonstraĵo: Post kiam ĉipfandejo en Germanio adoptas nian gasflosantan granitplatformon:
| Diametro de oblato | redukto de ĉipa indico | plibonigo de plateco |
| 12 coloj | 67% | ≤0.001mm |
| 18 coloj | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Litografia viciga precizeco trarompa skemo
Sistemo de temperaturkompenso: enigita ceramika sensilo monitoras la formon en reala tempo kaj aŭtomate ĝustigas la inklinon de la platformo
Mezuritaj datumoj: sub la fluktuo de 28℃±5℃, la precizeco de enkorpigo fluktuas malpli ol 0.12μm
Afiŝtempo: 24-a de marto 2025