La granita platformo, kiel referenca ilo por preciza mezurado kaj prilaborado, ĝia precizeco-prizorgado rekte influas la produktadkvaliton. La sekvanta provizas sisteman prizorgadplanon kovrantan median kontrolon, ĉiutagan prizorgadon kaj profesian kalibradon por certigi, ke la platformo konservas nanometran precizecon dum longa tempo.
1. Media Kontrolo: Konstruu precizan protektan baron
Temperaturo kaj humideca administrado
La temperaturo de la laborejo devas esti stabiligita je 20±1℃. Ĉiu 1℃-fluktuo kaŭzos termikan deformadon de la granita platformo je 0.5-1μm/m. Konstanta temperatursistemo povas esti instalita en la metiejo por malhelpi, ke la klimatizilaj ellasiloj blovu rekte sur la platformon.
La humideco estu kontrolata inter 40% kaj 60%. Troa humideco povas facile kaŭzi ruston sur metalaj partoj, dum tro malalta humideco povas kaŭzi statikan elektron, kiu interferas kun mezurado.
Vibra izolado
La platformo estu tenata for de vibrofontoj kiel stampiloj kaj frezmaŝinoj. Estas rekomendinde konservi distancon de pli ol 3 metroj de vibroekipaĵo.
Se vibrado ne povas esti evitata, aerrisortaj skusorbiloj povas esti instalitaj ĉe la fundo de la platformo por redukti la efikon de media vibrado sur la platecon de la platformo (kio povas redukti eksteran vibradon je pli ol 80%).
2. Ĉiutaga Prizorgado: Zorgema kontrolo de purigado ĝis protekto
Specifo pri surfaca purigado
Forigo de polvo: Viŝu la surfacon per cervohaŭto aŭ senlanuga tuko en la sama direkto ĉiutage por malhelpi, ke polveroj (≥5μm) gratu la platformon. Obstinajn makulojn oni povas milde viŝi per senakva etanolo (pureco ≥99.7%). Fortaj solviloj kiel acetono ne estu uzataj.
Sengrasigo: Se ĝi kontaktas oleajn makulojn, viŝu ĝin per diluita neŭtrala purigilo, poste lavu per dejonigita akvo kaj aersekigu por malhelpi mineralan oleon penetri la etajn porojn de la platformo.
Protekto kontraŭ ŝarĝo kaj kolizio
La ŝarĝoportanta kapacito de la platformo estu kontrolita ene de 70% de la taksita ŝarĝo (ekzemple, por platformo de 1000 kg, oni rekomendas, ke la ŝarĝo estu ≤700 kg) por eviti permanentan deformadon kaŭzitan de loka troŝarĝo.
Estas strikte malpermesite frapi laborpecojn sur la platformo. Dum manipulado de iloj, portu molajn gantojn por malhelpi akrajn objektojn grati la surfacon (gratoj kun profundo pli granda ol 20μm influos la mezuradon de la reflektita lumvojo).
3. Profesia Kalibrado: La Kerno de science konservado de precizeco
Agordo de kalibrada ciklo
Konvenciaj uzscenaroj: Alĝustigu unufoje ĉiun kvaronjaron kaj uzu laseran interferometron por detekti platecon (kun precizeco de ±0.5μm/m).
Altfrekvenca uzo aŭ severaj medioj: Ĉiumonata kalibrado, kun fokuso sur monitorado de temperatur-sentemaj areoj (kiel ekzemple la rando de la platformo proksime de varmofontoj).
Post-alĝustiga prilaborado
Se oni trovas devio de plateco (ekzemple > ±1μm/m), ĝi devas esti muelita kaj riparita de profesia teknikisto uzante W1.5-mikropulvoron. Memmuelado per ŝmirgilo estas strikte malpermesita.
Post la kalibrado, la datumoj estu registritaj kaj arkivitaj, kaj oni starigu kurbon pri la precizeco de la platformo por antaŭdiri la bezonojn pri bontenado.
4. Stokado kaj Transportado: Evitu kaŝitan precizecan perdon
Ŝlosilaj punktoj por longdaŭra stokado
Dum stokado, ĝi estu kovrita per humid- kaj polvo-rezista kovrilo. La fundo estu subtenata de tri punktoj (la subtenpunkto situas je 2/9 de la longo de la platformo) por eviti fleksan deformadon kaŭzitan de gravito (1-metra platformo povas sinki je 0.3μm pro longdaŭra unu-punkta subteno).
Regule (ĉiumonate) movu la pozicion de la subtenpunktoj de la platformo por eviti longdaŭran lokan premon.
Plano por protektado de transportado
Mallongdistanca transportado: Envolvu per ŝoko-sorba ŝaŭmo, fiksu ene de rigida kadro, kaj tenu la akcelon ene de 2g.
Longdistanca transportado: Ĝi devas esti vakue pakita kaj plenigita per seka nitrogeno. Post alveno, ĝi devas esti lasita stari dum 24 horoj ĝis la temperaturo atingas ekvilibron antaŭ ol malpaki por malhelpi, ke kondensakvo influu la precizecon.
5. Antaŭdiro de eraroj: Teknikoj por identigi fruajn problemojn
Vida inspektado: Regule observu la surfacon per 40-obla lupeo. Se kontinuaj gratvundoj aŭ signifa malpliiĝo de brilo troviĝas, tio povas indiki malpliiĝon de precizeco.
Sondetekto: Milde frapu la platformon. Se la sono raŭkiĝas (normale ĝi devus esti klara sono), eble estas mikro-fendetoj interne. Ĉesu uzi ĝin tuj por detekto.
Per ĉi tiu prizorgada sistemo, la granita platformo ZHHIMG® povas konservi platecon de ±1μm/m dum 10 jaroj, kio estas pli ol trioble pli longa ol la preciza vivo de platformoj, kiuj ne estas konvene prizorgataj. Praktiko pruvis, ke post kiam iu duonkonduktaĵa fabriko adoptis ĉi tiun solvon, la ofteco de platformalĝustigo reduktiĝis je 50%, kaj la jara prizorgada kosto ŝpariĝis je pli ol 150 000 juanoj.
Afiŝtempo: 18-a de junio 2025