Kompare kun metalaj mezuriloj kaj marmoraj mezuriloj, ceramikaj mezuriloj havas altan rigidecon, altan malmolecon, altan densecon, malaltan termikan ekspansion kaj malgrandan deflankiĝon kaŭzitan de sia propra pezo, kiu havas bonegan eluziĝon.Ĝi havas altan malmolecon kaj bonegan eluziĝon.Pro la malgranda termika ekspansio koeficiento, la deformado kaŭzita de temperaturŝanĝoj estas malgranda, kaj ĝi ne estas facile tuŝita de la mezurmedio.Alta stabileco estas la plej bona elekto por ultraprecizecaj mezuriloj.